JSR／imecとEUVﾘｿｸﾞﾗﾌｨ用ﾌｫﾄﾚｼﾞｽﾄ製造合弁会社を設立｜物流ﾆｭｰｽ

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■JSR／imecとEUVﾘｿｸﾞﾗﾌｨ用ﾌｫﾄﾚｼﾞｽﾄ製造合弁会社を設立

JSRとimec､EUVﾘｿｸﾞﾗﾌｨ用ﾌｫﾄﾚｼﾞｽﾄ製造合弁会社を設立　JSR株式会社（本社：東京都港区､社長：小柴満信）とﾅﾉｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ技術研究の先端的な研究機関であるimec（本社：ﾍﾞﾙｷﾞｰ､CEO：Luc　Van　den　hove）は､合弁会社｢EUV　Resist　Manufacturing＆Qualification　Center　N．V．（EUV　RMQC）｣を設立しました｡EUV　RMQCは､２０１５年５月１２日に調印した基本合意書（LOI：Letter　of　Intent）に基づき､JSR１００％出資のｸﾞﾙｰﾌﾟ企業　JSR　Micro　N．V．が過半を出資し設立したもので､EUVﾘｿｸﾞﾗﾌｨ材料の製造･品質管理ｻｰﾋﾞｽを提供します｡　EUV（極端紫外線）ﾘｿｸﾞﾗﾌｨ技術は､｢ﾑｰｱの法則｣で表される半導体の微細化･集積度向上の進展を１０ﾅﾉﾒｰﾄﾙより微細な世代においても推し進める主要技術の一つとして期待されています｡EUV技術は半導体業界において実用化検討が加速しており､量産設備と品質保証体制の確立が必須となっています｡JSRとimec両社の強みを活かして､最先端ﾃﾞﾊﾞｲｽを製造する半導体産業に対してEUVﾘｿｸﾞﾗﾌｨ材料技術を提供していきます｡■EUV　RMQC社長兼JSR　Micro　N．V．取締役工場長Bart　Denturck（ﾊﾞｰﾄ･ﾃﾞﾝﾀｰｸ）のｺﾒﾝﾄ　EUVﾘｿｸﾞﾗﾌｨは半導体製造技術が今後も発展していく上で必須の技術です｡今後の業界ﾆｰｽﾞに応えるべく､ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙﾘｰﾀﾞｰとして半導体技術の発展を支えてきた２社がお互いの技術を持ち寄り従来の発想を超えて取り組みます｡EUV　RMQCは､高品質材料の製造技術と最先端の装置を用いた品質管理に関する専門性と技術ｻｰﾋﾞｽの提供を担っていきます｡私たちは､今回の提携を通じて､EUVﾘｿｸﾞﾗﾌｨ技術開発の促進に貢献することができると確信しています｡■imec　副社長An　Steegen（ｱﾝ･ｽﾃｨｰｼﾞｪﾝ）のｺﾒﾝﾄ　EUVﾘｿｸﾞﾗﾌｨは今後の最先端半導体製造にとって重要な技術です｡imecはEUVによる量産化技術確立のために､関係するｻﾌﾟﾗｲﾁｪｰﾝをｻﾎﾟｰﾄすることに注力しています｡最先端のｸﾘｰﾝﾙｰﾑに設置された最新式のEUV関連装置は､私たちの業界内での地位を確固たるものにしています｡JSRとの合弁会社の設立により､材料ﾒｰｶｰに最先端の装置やﾌﾟﾛｾｽを提供することになり､imecが以前から行っていた材料ﾒｰｶｰへのｻﾎﾟｰﾄをより一段進める事になります｡これは､両社が持つ強みを合わせることによって半導体業界全体の目標達成に貢献できる良い例になると考えます｡＜新会社概要＞　社名：EUV　Resist　Manufacturing＆Qualification　Center　N．V．（略称；EUV　RMQC）　機能：　　EUVﾚｼﾞｽﾄの製造受託（製造･品質管理）　　･製造：JSR　Micro　N．V．敷地内に専用製造ﾗｲﾝを設立　　･品質管理：imec保有の最先端EUV露光装置とその他必須装置を活用　所在地：JSR　Micro　N．V．敷地内（ﾍﾞﾙｷﾞｰ）以上