三井造船／ｱｸﾃｨﾌﾞ型有機ELﾊﾟﾈﾙの量産に向け次世代ｲｵﾝ注入装置｢Magic-i｣を開発　初号機出荷｜物流ﾆｭｰｽ

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■三井造船／ｱｸﾃｨﾌﾞ型有機ELﾊﾟﾈﾙの量産に向け次世代ｲｵﾝ注入装置｢Magic-i｣を開発　初号機出荷

ｱｸﾃｨﾌﾞ型有機ELﾊﾟﾈﾙの量産に向け次世代ｲｵﾝ注入装置｢Magic-i｣を開発　初号機出荷

三井造船株式会社（社長：加藤　泰彦）の子会社であるｴﾑ･ｲｰ･ｴｽ･ｱﾌﾃｨ株式会社（MESｱﾌﾃｨ：社長　内田　省寿）では､ｱｸﾃｨﾌﾞ型有機ELﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ（Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode；以下AMOLED）の本格量産を見越して注入品質の向上と生産性の向上を両立させた次世代ｲｵﾝ注入装置｢Magic-i｣を開発し､このたび1号機を出荷しました｡ AMOLEDは､高い輝度とｺﾝﾄﾗｽﾄ､優れた色再現性を特徴とする高性能ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲであり､最近の量産技術確立により､携帯電話の高級機種やｽﾏｰﾄﾌｫﾝにおいて採用が進んでいます｡また､高い画像品質に加えて液晶に比べて優れた応答性から3Dﾃﾚﾋﾞの本流になるとも見られており､ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲﾒｰｶ各社において､大型ｶﾞﾗｽ基板によるAMOLEDﾃﾚﾋﾞ生産ﾗｲﾝの投資計画も進められています｡ MESｱﾌﾃｨでは､｢Magic-i｣の2号機以降についても､年末から来年初めに出荷を予定しています｡更に量産投資で先行する韓国はもとより､台湾での既存液晶製造ﾗｲﾝのAMOLED製造ﾗｲﾝへの転換計画や中国での研究開発･試作ﾗｲﾝの整備に対応して｢Magic-i｣やｱﾆｰﾙ（熱処理）装置の商談を活発に進めています｡

今回出荷した次世代ｲｵﾝ注入装置｢Magic-i｣の概要

ｶﾞﾗｽ基板ｻｲｽﾞ
730×920mm（第4世代）

概略装置ｻｲｽﾞ
幅5m×奥行8m×高さ3.5m（ﾒﾝﾃﾅﾝｽｽﾍﾟｰｽ､ｶｾｯﾄｽﾃｰｼｮﾝ･補機ｴﾘｱ除く）

概算装置重量
約22ﾄﾝ（装置本体）

出荷時期
2010年7月下旬

用途
携帯電話用OLED製造

ｴﾑ･ｲｰ･ｴｽ･ｱﾌﾃｨ株式会社の概要

2009年12月に三井造船のﾌﾗｯﾄ･ﾊﾟﾈﾙ･ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ製造用ｲｵﾝ注入装置の事業部隊と半導体製造装置ﾒｰｶである子会社､旧ｴﾑ･ｲｰ･ｴｽ･ｱﾌﾃｨ株式会社を統合｡2010年2月にﾌﾗｯﾄ･ﾊﾟﾈﾙ･ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ製造用熱処理･成膜装置ﾒｰｶである子会社､株式会社ｶﾞｿﾆｯｸｽも併せて統合｡半導体およびﾌﾗｯﾄ･ﾊﾟﾈﾙ･ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ製造装置の開発から製造､販売､保守ｻｰﾋﾞｽまで一貫して事業を行う戦略子会社｡

取扱品目

･ﾌﾗｯﾄ･ﾊﾟﾈﾙ･ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ製造用ｲｵﾝ注入装置･ﾌﾗｯﾄ･ﾊﾟﾈﾙ･ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ製造用熱処理装置･ﾌﾗｯﾄ･ﾊﾟﾈﾙ･ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ製造用LP-CVD成膜装置･半導体製造用ECRﾌﾟﾗｽﾞﾏ成膜装置･ﾌﾗｯﾄ･ﾊﾟﾈﾙ･ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ及び半導体成膜用ALD成膜装置