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■東京エレクトロン/半導体製造装置の生産能力を拡大

新棟建設に関するお知らせ


 今後も継続して拡大する半導体需要に対応するため、東京エレクトロンは半導体製造装置の生産能力拡大を目的とし、製造子会社である東京エレクトロン テクノロジーソリューションズの山梨(藤井)および東北事業所内に新棟(生産棟)を建設することを決定いたしましたので、お知らせいたします。東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが開発・製造している成膜装置などの製造装置市場は、技術革新が続き大きな成長が見込まれております。新棟の建設により、市場とお客さまの需要に迅速に対応することで、中長期における持続的成長を目指してまいります。
<新棟の概要>


1. 山梨(藤井)事業所内


延床面積:32,455u
構造:鉄骨造/免震構造 
階数:地上4階
着工:2019年1月(予定)、竣工:2020年4月(予定)
建設費用:約130億円 
用途:枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステムの製造


2. 東北事業所内   


延床面積 31,777u 
構造:鉄骨造/免震構造
階数:地上4階着工:2018年10月、竣工:2019年9月(1期工事完了*)、2020年12月(2期工事完了)
*生産棟の一部   
建設費用:約130億円 
用途:熱処理成膜装置の製造
<東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ事業概要について>
2017年7月に東京エレクトロン山梨、東京エレクトロン東北が合併し、東京エレクトロン テクノロジーソリューションズを設立。
従業員数:4,618名(協力会社含む) *4月1日現在
本社所在地:山梨県韮崎市藤井町北下条2381-1
事業内容:熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム、FPDプラズマエッチング/アッシング装置の開発・製造山梨事業所新棟 完成予想図

東北事業所新棟 完成予想図
 
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