昭和電工／高純度ﾌｯ化水素の供給体制を強化｜物流ﾆｭｰｽ

ﾆｭｰｽ　

用語　

ｾﾐﾅｰ

■昭和電工／高純度ﾌｯ化水素の供給体制を強化

高純度ﾌｯ化水素の供給体制を強化－半導体製造における用途拡大に対応－　昭和電工株式会社（社長：市川　秀夫）は､半導体製造用特殊ｶﾞｽのひとつである高純度HF（ﾌｯ化水素）の供給体制を強化します｡本年３月に川崎事業所にある既存設備の生産能力を従来の２倍に引き上げるとともに､中国に新たに製造設備を建設することを決定しました｡　高純度HFは､半導体の製造工程において主にｸﾘｰﾆﾝｸﾞ（＊）に用いられるｶﾞｽですが､近年､化学的酸化物除去処理（Chemical　Oxide　Removal：COR）と呼ばれるﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ（＊＊）工程においても､同ｶﾞｽの使用が増えています｡ｴｯﾁﾝｸﾞ用途に求められる高純度を維持するには技術的課題が多い中､当社は独自の精製技術と保存容器内での品質の長期安定化により､同用途における高純度HFの採用を拡大してまいりました｡　化学的酸化物除去処理は､従来のﾌﾟﾗｽﾞﾏｴｯﾁﾝｸﾞやｳｴｯﾄｴｯﾁﾝｸﾞに代わる微細化ｴｯﾁﾝｸﾞとして注目されており､同工程で使用する高純度HFの需要も旺盛であることから､川崎事業所の製造設備の増強を行い､本年３月に工事を完了しました｡　また今回､中国国内のお客様向けに､製造拠点の複数化による迅速かつ柔軟な供給体制を構築する目的から､１００％出資の子会社｢上海昭和電子化学材料有限公司｣（SSE､中国上海市）内に製造設備を建設することを決定しました｡同設備は川崎事業所と同等の生産能力を予定しており､今月着工し､本年中の稼働を目指します｡　高純度HFは薬液によるｳｴｯﾄｴｯﾁﾝｸﾞに比べて生産性の向上が図れることや､ﾌﾟﾗｽﾞﾏを利用したﾌﾟﾗｽﾞﾏｴｯﾁﾝｸﾞに比べて低ｺｽﾄ化が図れることから､将来的にも同用途での市場は拡大するものと見込まれます｡当社は独自技術による一層の品質強化と安定した供給体制により､需要拡大に対応してまいります｡以上　＊ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ：成膜の工程で使われるCVD炉に付着する不要な化学物質を取り除くこと　＊＊ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ：反応性の気体（ｶﾞｽ等）によって基板上の薄膜（酸化膜）に微細な溝や孔を刻み､電子回路等を作ること